Zasada działania miniaturowych czujników wagowych opiera się przede wszystkim na efekcie odkształcenia. Kiedy czujnik jest poddawany działaniu siły zewnętrznej, jego wewnętrzny, elastyczny element czujnikowy ulega niewielkiemu odkształceniu mechanicznemu. To odkształcenie powoduje odpowiednią zmianę rezystancji tensometru (płytki tensometrycznej) przymocowanej lub zintegrowanej z korpusem sprężystym. W czujniku zazwyczaj zastosowano mostek Wheatstone’a (pełny-obwód mostkowy), który przekształca zmianę rezystancji tensometru na sygnał wyjściowy o słabym napięciu, proporcjonalny do przyłożonej siły.
Wraz z rozwojem technologii systemów mikroelektromechanicznych (MEMS) wymiary miniaturowych czujników wagowych zostały znacznie zmniejszone. Jej podstawowa technologia rozszerzyła się również na półprzewodnikowe piezorezystancyjne elementy czujnikowe, wytwarzając piezorezystory na podłożach krzemowych za pomocą procesów takich jak implantacja jonów i osadzanie cienkiej-warstwy. Co więcej, innowacyjne, elastyczne konstrukcje podłoża umożliwiają czujnikowi dopasowanie się do zakrzywionych powierzchni podczas pomiaru.